Košík

0431958 - ÚPT 2015 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Řeřucha, Šimon - Šarbort, Martin - Čížek, Martin - Hrabina, Jan - Lazar, Josef - Číp, Ondřej
Interferometric measurement system for cost effective e-beam writer.
Photonic Instrumentation Engineering (Proceedings of Spie 8992). Bellingham: SPIE, 2014, 89920X:1-6. ISSN 0277-786X.
[Photonic Instrumentation Engineering. San Francisco (US), 02.02.2014-05.02.2014]
Grant CEP: GA ČR GAP102/10/1813; GA TA ČR(CZ) TA03010663; GA MPO FR-TI2/705; GA MŠMT EE2.4.31.0016; GA MŠMT ED0017/01/01; GA MŠMT EE2.3.30.0054; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: laser interferometry * nanometrology * homodyne detection * scale linearization * signal processing * e-beam writer * laser frequency modulation
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0236467