Košík

0424296 - FZÚ 2014 RIV SK eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Jirásek, Vít - Potocký, Štěpán - Sveshnikov, Alexey - Poruba, A.
Optimization of various technological processes in the fabrication of silicon based layers in SVCS process innovation high-temperature horizontal furnace SV-FUR reactors using multiphysics CFD-ace+ software.
Perspektívne vákuové metódy a technológie (Perspective vacuum methods and technologies). Bratislava: Slovenská vákuová spoločnosť, 2013 - (Vojs, M.; Veselý, M.; Vincze, A.), s. 25-31. ISBN 978-80-971179-2-4.
[School of Vacuum Technology /16./ (Perspektívne vákuové metódy a technológie. Perspective vacuum methods and technologies). Štrbské Pleso (SK), 10.10.2013-13.10.2013]
Grant CEP: GA TA ČR TA01020972
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: plasma * CVD processes * Si substrate
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0230383