Košík

0421265 - ÚPT 2014 RIV CZ cze C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Lazar, Josef - Hrabina, Jan - Holá, Miroslava - Vychodil, M.
Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích.
[Advanced Laser Measuring Systems in Nanometrology.]
Sborník příspěvků multioborové konference LASER53. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013, s. 53-54. ISBN 978-80-87441-10-7.
[LASER53. Třešť (CZ), 30.10.2013-01.11.2013]
Grant CEP: GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT ED0017/01/01
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: interferometry * nanometrology * positioning * dimensional metrology
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0227655