Košík

0386383 - FZÚ 2013 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Straňák, V. - Herrendorf, A.-P. - Drache, S. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Bogdanowicz, R. - Tichý, M. - Hippler, R.
Plasma diagnostics of low pressure high power impulse magnetron sputtering assisted by electron cyclotron wave resonance plasma.
Journal of Applied Physics. Roč. 112, č. 9 (2012), "093305-1"-"093305-9". ISSN 0021-8979. E-ISSN 1089-7550
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517; GA ČR(CZ) GAP205/11/0386
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: Langmuir probes * mass spectroscopy * plasma density * plasma diagnostics * plasma materials processing * plasma pressure * plasma radiofrequency heating
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 2.210, rok: 2012
http://jap.aip.org/resource/1/japiau/v112/i9/p093305_s1
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0215686