Košík

0338238 - FZÚ 2010 DE eng A - Abstrakt
Bulíř, Jiří - Pokorný, Petr - Novotný, Michal - Mišina, Martin - Lančok, Ján - Musil Jr., Jindřich
Mass spectrometry of plasma processes during reactive DC pulsedmagnetron sputtering.
[Hmotnostní spektroskopie plazmatických procesů při DC pulzním reaktivním magnetronovém naprašování.]
PSE 2008 - Abstracts. Dresden: European Joint Committee on Plasma and Ion Surface Engineering, 2009. s. 408.
[International Conference on Plasma Surface Engineering /11./. 15.09.2008-19.09.2008, Garmisch Partenkirchen]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: magnetron sputtering * mass spectroscopy * alumina
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0182070