Košík

0338223 - FZÚ 2010 US eng A - Abstrakt
Novotný, Michal - Bulíř, Jiří - Pokorný, Petr - Bočan, Jiří - Fitl, Přemysl - Lančok, Ján - Musil, Jindřich
Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering.
[Optická emisní a hmotová spektroskopie plazmatických procesů při reaktivním DC pulzním magnetronovém naprašování.]
E-MRS 2009 Spring Meeting. Warrendale, PA: MRS, 2009. s. 14. ISBN N.
[E-MRS 2009 Spring Meeting. 08.06.2009-12.06.2009, Strasbourg]
Grant CEP: GA ČR GP202/09/P324
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: reactive pulsed magnetron sputtering * optical emission spectroscopy * mass spectroscopy * alumina
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0182059