Košík

0205614 - UPT-D 20020166 CZ cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Matějka, František - Ryzí, Z.
Elektronová litografie - nástroj i pro nanotechnologie?
[Electron beam lithography - a tool for nanotechnologies?]
Proceedings of the national conference NANO'02. Brno: Česká společnost pro nové materiály, 2002, s. 67 - 72.
[NANO'02. Brno (CZ), 19.11.2002-21.11.2002]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2065902
Klíčová slova: elektronová litografie * nanotechnologie
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0101227