Košík

0049016 - ÚPT 2007 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Mika, Filip - Frank, Luděk
Imaging of Dopants in Semiconductors with the Secondary Electrons in a Low Energy SEM.
[Zobrazení dopantu v polovodiči s pomocí sekundárních elektronů v LESEM.]
Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: ISI AS CR, 2006 - (Müllerová, I.), s. 47-48. ISBN 80-239-6285-X.
[Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./. Skalský dvůr (CZ), 22.05.2006-26.05.2006]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: dopant distribution profile * low energy scanning electron microscope
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0139513