Košík

0043765 - ÚPT 2007 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Zobačová, Jitka - Zobač, Martin - Oral, Martin - Müllerová, Ilona - Frank, Luděk
Corrections of Magnification and Focusing in a Cathode Lens-Equipped Scanning Electron Microscope.
[Korekce zvětšení a zaostření v rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou.]
Scanning. Roč. 28, č. 3 (2006), s. 155-163. ISSN 0161-0457. E-ISSN 1932-8745
Grant CEP: GA AV ČR KJB2065301
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: low-energy scanning electron microscopy (SEM) * cathode lens * critical dimension measurement in SEM * automatic corrections
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Impakt faktor: 0.462, rok: 2006
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0136677