Počet záznamů: 1
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
- 1.
SYSNO 0537056 Název Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém Překlad názvu Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system Tvůrce(i) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCID
Kapran, Anna (FZU-D) ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Poruba, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)Vyd. údaje 2020 Poddruh Funkční vzorek Int.kód FVMF1/FZU/2020 Technické parametry Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou. Ekonomické parametry Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Název vlastníka Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Číselná identifikace FVMF1/FZU/2020 Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TM01000039 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova microwave surfatron * MinimalFab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0314808
Počet záznamů: 1