Comparison of Three Focus Sensors for Optical Measurement of Rough Surface Topography

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0536751
Název	Comparison of Three Focus Sensors for Optical Measurement of Rough Surface Topography
Tvůrce(i)	Šarbort, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Holá, Miroslava (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Pavelka, Jan (UPT-D)_{RID, SAI} Řeřucha, Šimon (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Oulehla, Jindřich (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Fořt, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Imaging and Applied Optics Congress. Proceedings, Computational Optical Sensing and Imaging. - Washington : OSA, 2020
Konference	Imaging and Applied Optics Congress, 22.06.2020 - 26.06.2020, Washington
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika
	EF16_026/0008460 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	focus sensor * optical metrology * rough topography
URL	https://www.osapublishing.org/abstract.cfm?URI=DH-2020-HTh5H.2
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0314472

Počet záznamů: 1