Počet záznamů: 1
SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM
- 1.
SYSNO 0536616 Název SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM Překlad názvu SMV-2020-23: Development of test specimens for SEM Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorná, Zuzana (UPT-D) RID, ORCID, SAIVyd. údaje Brno: Tescan Brno s.r.o., 2020 Druh dok. Výzkumná zpráva Grant neveřejné zdroje Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova relief structure: e-beam lithography * silicon etching * microlithography Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0314396
Počet záznamů: 1