Počet záznamů: 1

SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM

SYSNO	0536616
Název	SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu	SMV-2020-23: Development of test specimens for SEM
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Pokorná, Zuzana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Vyd. údaje	Brno: Tescan Brno s.r.o., 2020
Druh dok.	Výzkumná zpráva
Grant	neveřejné zdroje
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	relief structure: e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0314396

Počet záznamů: 1