Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0525191
Název	Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Řiháček, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID} Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Korespondující/senior	Matějka, Milan - Korespondující autor
Zdroj.dok.	Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis. Roč. 71, č. 2 (2020), s. 127-130. - : Slovenská technická univerzita v Bratislave
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	SK
Klíč.slova	membrane * nano optical device * electron optics * electron beam lithography * silicon nitride * reactive ion etching * silicon etching * microfabrication
URL	https://content.sciendo.com/view/journals/jee/71/2/article-p127.xml
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0309382

Počet záznamů: 1