Počet záznamů: 1
The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge
- 1.
SYSNO 0519372 Název The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge Tvůrce(i) Hajihoseini, H. (IS)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Ünaldi, S. (FR)
Raadu, M.A. (SE)
Brenning, N. (FR)
Gudmundsson, J.T. (IS)
Lundin, D. (FR)Zdroj.dok. Plasma. Roč. 2, č. 2 (2019), s. 201-221. - : MDPI Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, XE - země EU EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika GA19-00579S GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. CH Klíč.slova ionized physical vapor deposition * magnetron sputtering * high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) * ionized flux fraction * deposition rate URL http://hdl.handle.net/11104/0304364 Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0304364 Název souboru Staženo Velikost Komentář Verze Přístup 0519372.pdf 0 1.2 MB CC licence Vydavatelský postprint povolen
Počet záznamů: 1