Počet záznamů: 1

Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target

SYSNO	0518879
Název	Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target
Tvůrce(i)	Hippler, Rainer (FZU-D)_ORCID Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Plasma Sources Science & Technology. Roč. 28, Nov (2019), s. 1-13. - : Institute of Physics Publishing
Číslo článku	115020
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, XE - země EU
	EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	GA19-00579S GA ČR - Grantová agentura ČR
	FV30177 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	GB
Klíč.slova	magnetron sputtering * HiPIMS * bipolar pulse * time-resolved optical emission spectroscopy * ion mass spectrometry
URL	http://hdl.handle.net/11104/0303898
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0303898

	Název souboru	Staženo	Velikost	Komentář	Verze	Přístup
	0518879.pdf	5	2.2 MB	CC licence	Vydavatelský postprint	povolen

Počet záznamů: 1