Počet záznamů: 1  

Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes

  1. 1.
    SYSNO0512151
    NázevFabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes
    Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
    Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Korespondující/seniorMatějka, Milan - Korespondující autor
    Zdroj.dok. Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. - Amman : Jordan University of Science & Technology, 2019
    Konference The Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4), 02.05.2019 - 04.05.2019, Amman
    Druh dok.Abstrakt
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.JO
    Klíč.slova thin dielectric layers * silicon nitride * membranes * electron beam lithography
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0302363
     
Počet záznamů: 1