Počet záznamů: 1
Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes
- 1.
SYSNO 0512151 Název Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAIKorespondující/senior Matějka, Milan - Korespondující autor Zdroj.dok. Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. - Amman : Jordan University of Science & Technology, 2019 Konference The Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4), 02.05.2019 - 04.05.2019, Amman Druh dok. Abstrakt Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. eng Země vyd. JO Klíč.slova thin dielectric layers * silicon nitride * membranes * electron beam lithography Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0302363
Počet záznamů: 1