Počet záznamů: 1

Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes

SYSNO	0512151
Název	Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Řiháček, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID} Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Korespondující/senior	Matějka, Milan - Korespondující autor
Zdroj.dok.	Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. - Amman : Jordan University of Science & Technology, 2019
Konference	The Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4), 02.05.2019 - 04.05.2019, Amman
Druh dok.	Abstrakt
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	JO
Klíč.slova	thin dielectric layers * silicon nitride * membranes * electron beam lithography
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0302363

Počet záznamů: 1