Počet záznamů: 1
Aparatura pro detekci nečistot v naneseném rezistu
- 1.
SYSNO 0496767 Název Aparatura pro detekci nečistot v naneseném rezistu Překlad názvu Apparatus for detecting of particles in coated resist layer Tvůrce(i) Drozd, Michal (UPT-D)
Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pavelka, Jan (UPT-D) RID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAIVyd. údaje 2018 Poddruh Funkční vzorek Int.kód APL-2018-05 Technické parametry Jedná se o aparaturu používající pro skenování digitální kameru. Rozměry: 45x35x50 cm, rychlost skenování 1cm2/2min., rozlišení částic > 10 um. Typ podložek: Si destička 4‘a 6‘. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Alexandr Knápek, Ph.D., knapek@isibrno.cz Název vlastníka Ústav přístrojové techniky AV Ř, v. v. i. Číselná identifikace APL-2018-05 Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TG03010046 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova e–beam lithography * quality control * image processing Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0289410
Počet záznamů: 1