Lift-off technology for thick metallic microstructures

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0485656
Název	Lift-off technology for thick metallic microstructures
Tvůrce(i)	Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Oulehla, Jindřich (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Pesic, Z. (GB)
Zdroj.dok.	METAL 2017. 26th International Conference on Metallurgy and Materials. Conference Proceedings. S. 1298-1302. - Ostrava : TANGER, 2017
Konference	METAL 2017: International Conference on Metallurgy and Materials /26./, 24.05.2017, Brno - 26.05.2017
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	lift-off technique * SU-8 photoresist * e-beam lithography * thick layer evaporation
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0280633

Počet záznamů: 1