Počet záznamů: 1

Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy

SYSNO	0478403
Název	Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy
Překlad názvu	Thick layer coating on Si wafers and the control of the layer
Tvůrce(i)	Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Vyd. údaje	2017
Poddruh	Ověřená technologie
Int.kód	APL-2017-02
Vlastník výsledku	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Technické parametry	Vrstvy rezistu se nanáší na křemíkové podložky průměru 4-6 palců. Nominální tloušťka vrstev je 10 mikronů. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší.
Ekonomické parametry	Ověřená technologie realizovaná při řešení grantů, využívaná příjemcem při vývoji planárních mikrostruktur v rámci projektu FV10618 a v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz
Číselná identifikace	APL-2017-02
Druh dok.	Poloprovoz, ověřená technol., odrůda, plemeno
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	e-beam lithography * PMMA rezist * thick layers * spin coating
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0274516

Počet záznamů: 1