Počet záznamů: 1

SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury

SYSNO	0468373
Název	SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury
Část.dok.	SMV-2016-03
Překlad názvu	SMV-2016-03: Precise relief structures
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Fořt, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Oulehla, Jindřich (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Šerý, Mojmír (UPT-D)_{RID, SAI}
Vyd. údaje	Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2016
Druh dok.	Výzkumná zpráva
Grant	neveřejné zdroje
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0266242

Počet záznamů: 1