Measurements of current density distribution in shaped e-beam writers

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0454665
Název	Measurements of current density distribution in shaped e-beam writers
Tvůrce(i)	Bok, Jan (UPT-D)_RID Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krzyžánek, Vladislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Microelectronic Engineering. Roč. 149, JAN 5 (2016), s. 117-124. - : Elsevier
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	GA14-20012S GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika
	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	NL
Klíč.slova	shaped e-beam writer * electron beam * current density
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0255378

Počet záznamů: 1