Počet záznamů: 1

PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning

SYSNO	0451587
Název	PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning
Tvůrce(i)	Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Microscopy and Microanalysis. Roč. 21, S4 (2015), s. 230-235. - : Cambridge University Press
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	proximity effect correction * diffractive optical elements
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0252722

Počet záznamů: 1