Počet záznamů: 1
Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates
- 1.
SYSNO 0450607 Název Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates Tvůrce(i) Kleiner, A. (DE)
Suchaneck, G. (DE)
Dejneka, Alexandr (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Lavrentiev, V. (RU)
Kiselev, D.A. (RU)
Gerlach, G. (DE)Zdroj.dok. Oxide Materials for Electronic Engineering - Fabrication, Properties and Application, vol. 230, Solid State Phenomena. S. 3-7. - Pfaffikon : Scientific.Net, 2015 / Ubizskii S. ; Vasylechko L. ; Zhydachevskii Y. Konference Oxide Materials for Electronic Engineering – Fabrication, Properties and Applications (ОМЕЕ 2014), Lviv, 26.05.2014-30.05.2014 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. CH Klíč.slova complex oxide film deposition * PZT * multitarget reactive magnetron sputtering * flexible polymer substrate * XPS * PFM Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0251878
Počet záznamů: 1