Počet záznamů: 1
Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology
- 1.
SYSNO 0441274 Název Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oulehla, Jindřich (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Vychodil, M. (CZ)
Sedlář, P. (CZ)
Provazník, M. (CZ)Zdroj.dok. Optics and Measurement Conference 2014 (Proceedings of SPIE 9442). 94420P: 1-6. - Bellingham : SPIE, 2014 Konference Optics and Measurement Conference 2014 (OaM 2014), Liberec, 07.10.2014-10.10.2014 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant GB14-36681G GA ČR - Grantová agentura ČR TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TA01010995 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. eng Země vyd. US Klíč.slova interferometry * highly-coherent lasers * signal processing Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0246973
Počet záznamů: 1