Počet záznamů: 1

Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films

SYSNO	0438735
Název	Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films
Tvůrce(i)	Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Šmíd, Jiří (FZU-D) Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	IEEE Transactions on Plasma Science. Roč. 42, č. 10 (2014), s. 2502-2503. - : Institute of Electrical and Electronics Engineers
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	LH12045 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	M100101215, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	nuclear and plasma sciences * plasma applications * plasma devices * plasmas
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0242111

Počet záznamů: 1