Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0437838
Název	Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam
Tvůrce(i)	Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. - Ostrava : TANGER, 2014
Konference	NANOCON 2014. International Conference /6./, Brno, 05.11.2014-07.11.2014
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	e-beam writer * Gaussian beam * variable shaped beam
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0241322

Počet záznamů: 1