Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0437315
Název	Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system
Tvůrce(i)	Klusoň, J. (CZ) Kudrna, P. (CZ) Kolpaková, A. (CZ) Picková, I. (CZ) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Tichý, M. (CZ)
Zdroj.dok.	Contributions to Plasma Physics. Roč. 53, č. 1 (2013), s. 10-15. - : Wiley
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	DE
Klíč.slova	hollow cathode * plasma jet sputtering system * Langmuir probe
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0240876

Počet záznamů: 1