Počet záznamů: 1

Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers

SYSNO	0434105
Název	Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers
Tvůrce(i)	Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Bok, Jan (UPT-D)_RID Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	18th International Microscopy Congres. Proceedings. - Praha : Czechoslovak Microscopy Society, 2014
Konference	International Microscopy Congres /18./, Praha, 07.09.2014-12.09.2014
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	e-beam writer * current density
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0238240

Počet záznamů: 1