Počet záznamů: 1  

Mask-free surface structuring of micro- and nanocrystalline diamond films by reactive ion plasma etching

  1. 1.
    SYSNO0432632
    NázevMask-free surface structuring of micro- and nanocrystalline diamond films by reactive ion plasma etching
    Tvůrce(i) Domonkos, Mária (FZU-D) RID
    Ižák, Tibor (FZU-D) RID
    Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
    Varga, Marián (FZU-D) RID, ORCID
    Hruška, Karel (FZU-D) RID, ORCID
    Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Zdroj.dok. Advanced Science, Engineering and Medicine. Roč. 6, č. 7 (2014), s. 780-784
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant GAP108/12/0910 GA ČR - Grantová agentura ČR
    GAP108/12/0996 GA ČR - Grantová agentura ČR
    FR-TI2/736 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
    Institucionální podporaFZU-D - RVO:68378271
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.US
    Klíč.slova micro- and nanocrystalline diamond * capacitively coupled plasma * reactive ion etching * nanostructuring * scanning electron microscopy
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0237011
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.