Počet záznamů: 1
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
- 1.
SYSNO 0424549 Název Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu Překlad názvu An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCIDVyd. údaje 2013 Poddruh Funkční vzorek Int.kód IONEU2013 Technické parametry Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla Ekonomické parametry Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení. Název vlastníka Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Číselná identifikace IONEU2013 Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TA01010517 GA TA ČR - Technologická agentura ČR M100101215, CZ - Česká republika Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0230613
Počet záznamů: 1