Počet záznamů: 1

Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu

SYSNO	0424549
Název	Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
Překlad názvu	An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma
Tvůrce(i)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Vyd. údaje	2013
Poddruh	Funkční vzorek
Int.kód	IONEU2013
Technické parametry	Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Ekonomické parametry	Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Název vlastníka	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Číselná identifikace	IONEU2013
Druh dok.	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TA01010517 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	M100101215, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0230613

Počet záznamů: 1