Počet záznamů: 1

Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu

SYSNO	0424534
Název	Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu
Překlad názvu	Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems
Tvůrce(i)	Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Vyd. údaje	2013
Poddruh	Funkční vzorek
Int.kód	DPCS/FZÚ/2013
Technické parametry	Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
Ekonomické parametry	V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Název vlastníka	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Číselná identifikace	DPCS/FZÚ/2013
Druh dok.	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TA01010517 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	M100101215, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	pohyb substrátu * PC řízený
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0230598

Počet záznamů: 1