Počet záznamů: 1

Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration

SYSNO	0424334
Název	Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration
Tvůrce(i)	Potocký, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Rezek, Ondřej (FZU-D) Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Babchenko, Oleg (FZU-D)_{RID, ORCID} Ižák, Tibor (FZU-D)_RID Varga, Marián (FZU-D)_{RID, ORCID} Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Perspektívne vákuové metódy a technológie (Perspective vacuum methods and technologies). S. 42-46. - Bratislava : Slovenská vákuová spoločnosť, 2013 / Vojs M. ; Veselý M. ; Vincze A.
Konference	School of Vacuum Technology /16./ (Perspektívne vákuové metódy a technológie. Perspective vacuum methods and technologies), Štrbské Pleso, 10.10.2013-13.10.2013
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	GAP205/12/0908 GA ČR - Grantová agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	SK
Klíč.slova	microwave plasma * linear antena * CVD deposition
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0230415

Počet záznamů: 1