Počet záznamů: 1

Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers

SYSNO	0397634
Název	Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers
Tvůrce(i)	Bok, Jan (UPT-D)_RID Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, František (UPT-D)_{RID, SAI}
Zdroj.dok.	Journal of Vacuum Science & Technology B. Roč. 31, č. 3 (2013), 031603:1-6. - : American Institute of Physics
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	electron-beam * intensity distribution * aperture * detector * profile * size
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0225249

Počet záznamů: 1