Počet záznamů: 1

Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev

SYSNO	0396132
Název	Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev
Překlad názvu	System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process
Tvůrce(i)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kubart, T. (CZ) Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID}
Vyd. údaje	2013
Vlastník	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i
Datum udělení vzoru	16.09.2013
Číslo vzoru	25867
Druh vzoru	U - Užitný vzor
Kategorie vzoru	E - Úřad průmyslového vlastnictví (patentový úřad ČR)
Kód vydavatele patentu	CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
Druh dok.	Užitný a průmyslový vzor
Grant	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	LH12043 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	cze
Klíč.slova	ion flux * neutral particles * magnetic field * deposition rate
URL	http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0223966

Počet záznamů: 1