Počet záznamů: 1
Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály
- 1.
SYSNO 0390208 Název Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály Překlad názvu Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels Tvůrce(i) Šmíd, Jiří (FZU-D)
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Lukašík, P. (CZ)
Piják, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)
Martinek, P. (CZ)
Pitrun, J. (CZ)
Rek, Š. (CZ)
Konečný, L. (CZ)
Mareš, G. (CZ)
Štepánek, J. (CZ)
Jakeš, J. (CZ)
Křenek, Z. (CZ)
Joštic, M. (CZ)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCIDVyd. údaje 2012 Poddruh Funkční vzorek Int.kód PST2/FZÚ-SVCS/2012 Technické parametry Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012. Ekonomické parametry Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný Název vlastníka Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - SVCS Process Innovation s.r.o. Číselná identifikace Smlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011 Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova microwave * surfatron * thin films * vacuum reactor * plasma * deposition * plasma jet * flowmeter Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0219084
Počet záznamů: 1