Počet záznamů: 1  

Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy

  1. 1.
    SYSNO0390204
    NázevLineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy
    Překlad názvuLinear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes
    Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
    Šmíd, Jiří (FZU-D)
    Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
    Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
    Vyd. údaje2012
    PoddruhFunkční vzorek
    Int.kódFS3/FZÚ/2012
    Technické parametryTyp termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
    Ekonomické parametryV rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
    Název vlastníkaFyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    Číselná identifikaceSmlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011
    Druh dok.Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
    Grant TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura České republiky
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    Jazyk dok.cze
    Země vyd.CZ
    Klíč.slova heating flux * plasma * ion flux * deposition * thin films * deposition rate
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0219081
     
Počet záznamů: 1