Počet záznamů: 1  

Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

  1. 1.
    SYSNO0371302
    NázevHybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
    Překlad názvuHybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01
    Tvůrce(i) Šmíd, Jiří (FZU-D)
    Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
    Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
    Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
    Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
    Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
    Lukašík, P. (CZ)
    Piják, A. (CZ)
    Dolák, J. (CZ)
    Martinek, P. (CZ)
    Pitrun, J. (CZ)
    Rek, Š. (CZ)
    Konečný, L. (CZ)
    Mareš, G. (CZ)
    Štepánek, J. (CZ)
    Jakeš, J. (CZ)
    Křenek, Z. (CZ)
    Joštic, M. (CZ)
    Vyd. údaje2011
    PoddruhFunkční vzorek
    Int.kódPST1/FZÚ-SVCS/2011
    Technické parametryVnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH
    Ekonomické parametryLaboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    Název vlastníka50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o.
    Druh dok.Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
    Grant TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura České republiky
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    Jazyk dok.cze
    Země vyd.CZ
    Klíč.slova microwave * surfatron * thin films * plasma * deposition * plasma jet * surface wave
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0204848
     
Počet záznamů: 1