Počet záznamů: 1
Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením
- 1.
SYSNO 0370933 Název Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením Překlad názvu Nanolithography and Magnetic Field Cancellation in the Industrial Area Tvůrce(i) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RIDZdroj.dok. Jemná mechanika a optika. Roč. 56, 11-12 (2011), s. 312-316. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy FR-TI1/576 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova E-beam writer with a shaped beam * magnetic field cancelling system * electron optics column * nanolithography * nanotechnology Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0204605
Počet záznamů: 1