Počet záznamů: 1
The deposition of 3C-SiC thin films onto the (111) and (110) faces of Si using pulsed sputtering of a hollow cathode
- 1.
SYSNO 0370779 Název The deposition of 3C-SiC thin films onto the (111) and (110) faces of Si using pulsed sputtering of a hollow cathode Tvůrce(i) Huguenin-Love, J.L. (US)
Lauer, N.T. (US)
Soukup, R. J. (US)
Ianno, N.J. (US)
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Materials Science Forum. 645-648, 1-2 (2010), s. 131-134 Konference International Conference on Silicon Carbide and Related Materials Location /13./, Nurnberg, 11.10.2009-16.10.2009 Druh dok. Článek v odborném periodiku CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. CH Klíč.slova sputtering * pulse * germanium * 3C Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0204474
Počet záznamů: 1