Investigation of the negative ions in Ar/O.sub.2./sub. plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0363960
Název	Investigation of the negative ions in Ar/O₂ plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry
Tvůrce(i)	Pokorný, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Mišina, Martin (FZU-D) Bulíř, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Lančok, Ján (FZU-D)_{RID, ORCID} Fitl, Přemysl (FZU-D)_{RID, ORCID} Musil, Jindřich (FZU-D)_{RID, ORCID} Novotný, Michal (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Plasma Processes and Polymers. Roč. 8, č. 5 (2011), s. 459-464. - : Wiley
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	IAA100100718 GA AV ČR - Akademie věd
	KAN400100653 GA AV ČR - Akademie věd
	GP202/09/P324 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	DE
Klíč.slova	energy-resolved ion mass spectrometry * formation of negative ions * magnetron sputtering * mass spectrometry * transparent conductive oxide
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0199569

Počet záznamů: 1