Počet záznamů: 1
Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs
- 1.
SYSNO 0359582 Název Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs Tvůrce(i) Straňák, V. (DE)
Drache, S. (DE)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tichý, M. (CZ)
Hippler, R. (DE)Zdroj.dok. Contributions to Plasma Physics. Roč. 51, 2-3 (2011), s. 237-245. - : Wiley Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd GP202/09/P159 GA ČR - Grantová agentura ČR KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika M100100915 , CZ - Česká republika GA202/09/0800 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. DE Klíč.slova time-resolved plasma diagnostics * optical emission spectroscopy * Langmuir probe * magnetron sputtering Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0197343
Počet záznamů: 1