Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0359582
Název	Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs
Tvůrce(i)	Straňák, V. (DE) Drache, S. (DE) Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Tichý, M. (CZ) Hippler, R. (DE)
Zdroj.dok.	Contributions to Plasma Physics. Roč. 51, 2-3 (2011), s. 237-245. - : Wiley
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
	GP202/09/P159 GA ČR - Grantová agentura ČR
	KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd
	1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	M100100915 , CZ - Česká republika
	GA202/09/0800 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	DE
Klíč.slova	time-resolved plasma diagnostics * optical emission spectroscopy * Langmuir probe * magnetron sputtering
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0197343

Počet záznamů: 1