Počet záznamů: 1
Time-resolved investigation of dual high power impulse magnetronsputtering with closed magnetic field during deposition of Ti–Cu thin films
- 1.
SYSNO 0357100 Název Time-resolved investigation of dual high power impulse magnetronsputtering with closed magnetic field during deposition of Ti–Cu thin films Tvůrce(i) Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tichý, M. (CZ)
Hippler, R. (DE)Zdroj.dok. Journal of Applied Physics. Roč. 108, č. 4 (2010), 043305/1-043305/8. - : AIP Publishing Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika M100100915, CZ - Česká republika GA202/09/0800 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. US Klíč.slova Langmuir probes * magnetrons * metallic thin films * plasma density * sputter deposition * time resolved spectra URL http://jap.aip.org/resource/1/japiau/v108/i4/p043305_s1 Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0195448
Počet záznamů: 1