Počet záznamů: 1
Effect of Hydrogen on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films
- 1.
SYSNO 0352948 Název Effect of Hydrogen on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films Tvůrce(i) Mikmeková, Eliška (UPT-D) RID
Urbánek, Michal (UPT-D) RID
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Di Mundo, R. (IT)Zdroj.dok. 2010 International Conference on Manufacturing Science and Technology (ICMST 2010). S. 291-295. - Chengdu : Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc, 2010 Konference International Conference on Manufacturing Science and Technology - ICMST 2010, Kuala Lumpur, 26.11.2010-28.11.2010 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. CN Klíč.slova hydrogenated alfa-CNx films * ressidal stress * r. f. magnetron sputtering * SLEEM * XPS * TDMS * AFM Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0192321
Počet záznamů: 1