Imaging of thermal treated thin films on silicon substrate in the scanning low energy electron microscope

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0350672
Název	Imaging of thermal treated thin films on silicon substrate in the scanning low energy electron microscope
Tvůrce(i)	Zobačová, Jitka (UPT-D)_{RID, ORCID} Mikmeková, Šárka (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Polčák, J. (CZ) Frank, Luděk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Zdroj.dok.	Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. S. 69-70. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F.
Konference	International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./, Skalský dvůr, 31.05.2010-04.06.2010
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	IAA100650803 GA AV ČR - Akademie věd
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	thin films * SLEEM * Si substrate
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0190612

Počet záznamů: 1