Počet záznamů: 1
Imaging of dopants under presence of surface ad-layers
- 1.
SYSNO 0350664 Název Imaging of dopants under presence of surface ad-layers Tvůrce(i) Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Hovorka, Miloš (UPT-D)
Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCIDZdroj.dok. Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. S. 35-36. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F. Konference International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./, Skalský dvůr, 31.05.2010-04.06.2010 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant GP102/09/P543 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. CZ Klíč.slova scanning electron microscopy * semiconductor structures * image contrast * dopant concentration * secondary electron emission Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0190604
Počet záznamů: 1