Počet záznamů: 1
Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide
- 1.
SYSNO 0343204 Název Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide Tvůrce(i) Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bulíř, Jiří (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Pokorný, Petr (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bočan, Jiří (FZU-D) RID
Fitl, Přemysl (FZU-D) RID, ORCID
Lančok, Ján (FZU-D) RID, ORCID
Musil, Jindřich (FZU-D) RID, ORCIDZdroj.dok. Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Roč. 12, č. 3 (2010), 697-700. - : NATL INST OPTOELECTRONICS Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant IAA100100718 GA AV ČR - Akademie věd KAN400100653 GA AV ČR - Akademie věd GP202/09/P324 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. RO Klíč.slova reactive magnetron sputtering * alumina * plasma spectroscopy * mass spectroscopy * optical emission spectroscopy Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0005901
Počet záznamů: 1