Počet záznamů: 1

Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide

SYSNO	0343204
Název	Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide
Tvůrce(i)	Novotný, Michal (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Bulíř, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Pokorný, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Bočan, Jiří (FZU-D)_RID Fitl, Přemysl (FZU-D)_{RID, ORCID} Lančok, Ján (FZU-D)_{RID, ORCID} Musil, Jindřich (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Roč. 12, č. 3 (2010), 697-700. - : NATL INST OPTOELECTRONICS
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	IAA100100718 GA AV ČR - Akademie věd
	KAN400100653 GA AV ČR - Akademie věd
	GP202/09/P324 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	RO
Klíč.slova	reactive magnetron sputtering * alumina * plasma spectroscopy * mass spectroscopy * optical emission spectroscopy
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0005901

Počet záznamů: 1